低溫等離子廢氣處理設(shè)備是利用電子、各種離子、原子和自由基等活性等離子體和廢氣中的污染物作用，凈化、無需添加任何物質(zhì)、適應(yīng)性強(qiáng)、低耗節(jié)能的特點，使廢氣物質(zhì)分子在短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到分解廢氣的目的。低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)的第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的著火電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。

　　低溫等離子廢氣處理設(shè)備，利用所產(chǎn)生的能力好電子、自由基等活性粒子開啟、電離、裂解工業(yè)廢氣中的各組成份，使之發(fā)生分解，氧化等一些列復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，再經(jīng)過多級凈化，從而取消各種污染源排放的異味、臭味污染物，使性能穩(wěn)定氣體達(dá)到低毒化、毒素檢測化，保護(hù)人類生存環(huán)境。由于其對污染物分子的效果分解且處理能耗低等特點，為工業(yè)廢氣的處理開辟了一條新的思路。

　　低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些能力好電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。（注：低溫等離子體相對于高溫等離子體而言，屬于常溫運(yùn)行。）

　　低溫等離子廢氣處理技術(shù)過程中，等離子體傳遞化學(xué)能量的反應(yīng)過程中能量的傳遞大致如下：

　　(1)電場＋電子→能力好電子

　　(2)能力好電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團(tuán)、游離基團(tuán))活性基團(tuán)

　　(3)活性基團(tuán)＋分子(原子)→生成物+熱

　　(4)活性基團(tuán)＋活性基團(tuán)→生成物+熱

　　從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團(tuán)；之后這些活性基團(tuán)與分子或原子、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。另外，能力好電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強(qiáng)的物質(zhì)俘獲，成為負(fù)離子。這類負(fù)離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。